大電力パルスマグネトロンスパッタリングSiC薄膜のレーザ改質による潤滑性の向上

Publication Information

Title

Japanese:	大電力パルスマグネトロンスパッタリングSiC薄膜のレーザ改質による潤滑性の向上
English:

Author

Japanese:	佐藤智輝, 稲葉梨々花, 徳永大二郎, 青野祐子, 平田敦.
English:	Tomoki Sato, Ririka Inaba, Daijiro Tokunaga, Yuko Aono, ATSUSHI HIRATA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

p. 671

Published date

Feb. 28, 2024

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2024年度精密工学会春季大会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: