機能性酸化物エピタキシャル薄膜の構造・物性に与える真空紫外光励起酸素種の効果

Publication Information

Title

Japanese:	機能性酸化物エピタキシャル薄膜の構造・物性に与える真空紫外光励起酸素種の効果
English:

Author

Japanese:	金子健太, 喬宇馳, 平野拓夢, 金子智, 松田晃史.
English:	Kenta Kaneko, Uchi Kyou, Takumu Hirano, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 3, 2024

Publisher

Japanese:	日本セラミックス協会
English:

Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会第37回秋季シンポジウム
English:	The Ceramic Society of Japan The 37th Fall Meeting

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:	Nagoya