光集積回路に向けたCrystal Film Bonding技術によるSiO2/Si基板上へのInPエピタキシャル層接合

Publication Information

Title

Japanese:	光集積回路に向けたCrystal Film Bonding技術によるSiO2/Si基板上へのInPエピタキシャル層接合
English:

Author

Japanese:	西山伸彦, 古田裕典, 大礒義孝, 吉田俊, Moataz Eissa, 谷川兼一, 鈴木貴人, 岡山秀彰, 志村大輔.
English:	Nobuhiko Nishiyama, Hironori Furuta, Yoshitaka Oiso, Suguru Yoshida, Shaher Anis Mahmoud Eissa Moataz, Kenichi Tanigawa, Takahito Suzuki, Hideaki Okayama, Daisuke Shimura.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 14, 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第72回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	千葉
English: