{111}配向した希土類元素ドープエピタキシャルHfO2薄膜の結晶構造と強誘電特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	{111}配向した希土類元素ドープエピタキシャルHfO2薄膜の結晶構造と強誘電特性評価
English:

Author

Japanese:	土屋裕太郎, 下野園航平, 岡本一輝, 井上ゆか梨, 舟窪浩.
English:	Yutaro Tsuchiya, Kohei Shimonosono, Kazuki Okamoto, 井上ゆか梨, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Jan. 8, 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第63回セラミックス基礎科学討論会
English:

Conference site

Japanese:	新潟県新潟市
English: