メタルサイトメーターにおける高感度分析のためのアディショナルガス流量検討

Publication Information

Title

Japanese:	メタルサイトメーターにおける高感度分析のためのアディショナルガス流量検討
English:

Author

Japanese:	安東侑吾, 山田颯真, 福智魁, 清水祐哉, 八井田朱音, 前本佑樹, 青木元秀, 梅村知也, 沖野晃俊.
English:	Yuwa Ando, Soma Yamada, Kai Fukuchi, Yuya Shimizu, Akane Yaida, Yuki Maemoto, Motohide Aoki, Tomonari Umemura, AKITOSHI OKINO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

July 3, 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	プラズマ分光分析研究会 2025筑波セミナー in Tokyo
English:

Conference site

Japanese:	東京都文京区本郷7-3-1 本郷キャンパス理学部1号館中央棟
English:

Award

優秀発表賞