【IMPORTANT】T2R2 and STAR Search: Service Discontinuation and Successor Systems
Japanese
Home
>
Help
Publication Information
Title
Japanese:
スパッタリング法による高品質窒化物薄膜のエピタキシャル成長
English:
Epitaxial growth of high-quality nitride epitaxial films using sputtering method
Author
Japanese:
相馬 拓人
,
平出 悠士
,
新津 甲大
,
笹原 悠輝
, 仙田 敬, 水谷 仁美,
吉松 公平
, 安田 啓介, 間嶋 拓也,
組頭 広志
,
大友 明
.
English:
Takuto Soma
,
Yushi Hiraide
,
Kodai Niitsu
,
Yuki Sasahara
, 仙田 敬, 水谷 仁美,
Kohei Yoshimatsu
, 安田 啓介, 間嶋 拓也,
Hiroshi Kumigashira
,
Akira Ohtomo
.
Language
Japanese
Journal/Book name
Japanese:
English:
Volume, Number, Page
Published date
Mar. 16, 2026
Publisher
Japanese:
English:
Conference name
Japanese:
第73回応用物理学会春季学術講演会
English:
Conference site
Japanese:
東京
English:
©2007
Institute of Science Tokyo All rights reserved.