Ti 板上の電解金めっき膜の機械特性に対するアニーリング処理の影響

Publication Information

Title

Japanese:	Ti 板上の電解金めっき膜の機械特性に対するアニーリング処理の影響
English:

Author

Japanese:	十朱悦誠, 栗岡智行, 飯間翔太, 町田克之, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
English:	Nobutaka Toake, Tomoyuki Kurioka, Shota Iima, Katsuyuki Machida, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第73回応用物理学会春季学術講演会
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 17, 2026

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	第73回応用物理学会春季学術講演会
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