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Publication Information


Title
Japanese:トモグラフィ発光分光計測を用いたCF4/O2容量結合プラズマの診断 
English:Diagnostics of CF4/O2 Capacitively Coupled Plasma Using Tomographic Emission Spectroscopy 
Author
Japanese: 吉井 大翔, 土居 謙太, 清田 哲司, 叶 宇晨, 何 文涛, 赤塚 洋.  
English: Masato Yoshii, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Yuchen Ye, Wentao He, Hiroshi Akatsuka.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:第73回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
English:Extended Abstracts of the 73rd JSAP Spring Meeting 2026 
Volume, Number, Page         p. 08-123
Published date Mar. 4, 2026 
Publisher
Japanese:公益社団法人 応用物理学会 
English:Japan Society of Applied Physics 
Conference name
Japanese:第73回応用物理学会春季学術講演会 
English:The 73rd JSAP Spring Meeting 2026 
Conference site
Japanese:東京 
English:Tokyo 
Official URL https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2026s/presentation/18p-M_103-2
 
Abstract 低圧プラズマを用いたドライエッチングは半導体デバイス作製において不可欠なプロセスであり、さらなるプロセス改善に向けてプラズマパラメータの測定を行う重要性が高まっている。 本研究では、CF4/O2容量結合プラズマを対象に、同時に複数視線の測定が可能なトモグラフィ発光分光計測を用いて、分光放出係数などの位置分布を得ることができたので報告する。

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