Generation of Toroidal Plasma-Atmospheric Ar Gas Insulated Plasma Source with Quartz and Metallic Discharge Tube-,

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Generation of Toroidal Plasma-Atmospheric Ar Gas Insulated Plasma Source with Quartz and Metallic Discharge Tube-,

著者

和文:	嶋田隆一.
英文:	A. Okino, Y. Nomura, H. Ishizuka, K. Mino and R. Shimada,.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 6th Symposium on Plasma Science for Materials

巻, 号, ページ

pp. 265-270

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	6th Symposium on Plasma Science for Materials

開催地

和文:
英文: