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論文・著書情報
タイトル
和文:
CVD法による窒化タンタル薄膜の合成とその析出機構
英文:
著者
和文:
舟窪浩
, 小林幹雄, 木枝暢夫,
加藤誠軌
,
水谷惟恭
.
英文:
HIROSHI FUNAKUBO
, 小林幹雄, 木枝暢夫,
加藤誠軌
,
nobuyasu mizutani
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
化学工学論文集
英文:
巻, 号, ページ
Vol. 16 No. 3 pp. 430-437
出版年月
1990年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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