Synthesis of superhard nanocomposite films base on NbN by ECR sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of superhard nanocomposite films base on NbN by ECR sputtering

著者

和文:	R. Makino, Y. Ishii, J. Shi, M. Osawa.
英文:	R. Makino, Y. Ishii, J. Shi, M. Osawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The Fourteenth International Conference on Crystal Growth -Abstact

巻, 号, ページ

pp. 177

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:	The Fourteenth International Conference on Crystal Growth -Abstact

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: