Direct Injection Multi-Gas Inductively Coupled Plasma Source for Industrial Application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct Injection Multi-Gas Inductively Coupled Plasma Source for Industrial Application

著者

和文:	Akitoshi Okino, Hideyuki Miyahara, Takayuki Doi, Yoichi Mizusawa, Eiki Hotta.
英文:	Akitoshi Okino, Hideyuki Miyahara, Takayuki Doi, Yoichi Mizusawa, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2005 IEEE International Conference on Plasma Science

巻, 号, ページ

Vol. 1P26 pp. 127

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: