Effect of Admixture of Rare Gases on Microwave-Excited Oxygen Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Admixture of Rare Gases on Microwave-Excited Oxygen Plasma

著者

和文:	T. Sakamoto, K. Naoi, H. Matsuura, H. Akatsuka.
英文:	T. Sakamoto, K. Naoi, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	27th International Conference Phenomena in Ionised Gases, CD-ROM Proceedings

巻, 号, ページ

pp. 03-211

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	27th International Conference Phenomena in Ionised Gases

開催地

和文:
英文:	Eindhoven, the Netherlands