超音波振動を用いた非接触ナノ位置決めテーブルシステム

論文・著書情報

タイトル

和文:	超音波振動を用いた非接触ナノ位置決めテーブルシステム
英文:	Advanced Non-contact Nano-Positioning Table System Using Ultrasonic Oscillation

著者

和文:	高橋宗大, 吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲.
英文:	Takahashi, M., Hayato Yoshioka, Hashizume, H., Shinno, H..

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	２００５年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:	Proceedings of JSPE 2005 Autumn Annual Assembly

巻, 号, ページ

pp. 859-860

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	２００５年度精密工学会秋季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	京都大学
英文: