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論文・著書情報


タイトル
和文:低温プラズマ発生装置用2MHz，2kW電圧形インバータ―三次共振回路を用いたスイッチングの高速化― 
英文: 
著者
和文: 藤田　英明, 赤木　泰文.  
英文: 藤田　英明, 赤木　泰文.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会論文誌 D 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 117    No. 10    pp. 1262-1268
出版年月 1997年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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