Zピンチ放電を用いたEUV光源の研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Zピンチ放電を用いたEUV光源の研究
英文:

著者

和文:	坂本敏郎, 宋仁皓, 小林靖典, S.R.Mohanty, 渡辺正人, 河村徹, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	坂本敏郎, 宋仁皓, 小林靖典, S.R.Mohanty, 渡辺正人, 河村徹, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. CD

出版年月

2005年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	平成17年度電気学会基礎・材料・共通部門大会
英文:

開催地

和文:	東京
英文:

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