Synthesis of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition at Subatmospheric Pressure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition at Subatmospheric Pressure

著者

和文:	近藤好正, Takao Saito, 齊藤雅典, 大竹尚登.
英文:	Yoshimasa Kondo, Takao Saito, Masanori Saito, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第41回CVD研究会（第16回夏季セミナー）講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 1

出版年月

2005年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	滋賀県