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論文・著書情報


タイトル
和文:CVD Ru薄膜を下部電極として用いたMo添加BLT強誘電体キャパシタの評価 
英文: 
著者
和文: 林大祐, 小菅博明, 大島憲昭, 石原宏.  
英文: 林大祐, 小菅博明, 大島憲昭, 石原宏.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2005年(平成17年)春季第52回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 29a-P1-1       
出版年月 2005年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文: 
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開催地
和文:埼玉大学 
英文: 

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