Development of capillary Z-pinch discharge light source for EUV lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of capillary Z-pinch discharge light source for EUV lithography

著者

和文:	I.H.Song, Mitsuo Okamoto, Keita Kitade, Majid Masnavi, Yasushi Hayashi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	I.H.Song, Mitsuo Okamoto, Keita Kitade, Majid Masnavi, Yasushi Hayashi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Institute of Physics

巻, 号, ページ

Vol. 182 pp. 281-282

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	10th　International Symposium on the Science and Technology of Light Sources (Light Sources 2004)

開催地

和文:
英文:	Toulouse, France