Development of gas jet type Z-pinch extreme ultraviolet light source for next generation lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of gas jet type Z-pinch extreme ultraviolet light source for next generation lithography

著者

和文:	Inho Song, Yusuke Honma, Kazuhiro Iwata, S.R. Mohanty, Masato Watanabe, Toru Kawamura, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	Inho Song, Yusuke Honma, Kazuhiro Iwata, S.R. Mohanty, Masato Watanabe, Toru Kawamura, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	National Institute for Fusion Science

巻, 号, ページ

Vol. NIFS-PROC-61 pp. 23-29

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	New Aspects of High Energy Density Plasma

開催地

和文:
英文:	Toki, Gifu