A Developed Ultraprecision Air Spindle System for Nano-machining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Developed Ultraprecision Air Spindle System for Nano-machining

著者

和文:	H.Yoshioka, M.Okubo, H.Hashizume, H.Shinno.
英文:	H.Yoshioka, M.Okubo, H.Hashizume, H.Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the ASPE 2005 Annual Meeting

巻, 号, ページ

Vol. 37 pp. 126-129

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ASPE 20th Annual Meeting

開催地

和文:
英文:	Norfolk, VA, USA