Development of a gas jet type Z-pinch EUV light source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a gas jet type Z-pinch EUV light source

著者

和文:	Eiki Hotta, Kazuhiko Horioka, Akitoshi Okino, Tohru Kawamura, Masato Watanabe, Majid Masnavi, Smruti R. Mohanty, Song Inho, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi.
英文:	Eiki Hotta, Kazuhiko Horioka, Akitoshi Okino, Tohru Kawamura, Masato Watanabe, Majid Masnavi, Smruti R. Mohanty, Song Inho, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SEMATECH

巻, 号, ページ

Vol. CD-ROM No. 2-SO-28

出版年月

2005年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography

開催地

和文:
英文:	San Diego, CA, USA