Tungsten Buried Growth by Using Thin Flow-Liner for Small Collector Capacitance in InP HBT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tungsten Buried Growth by Using Thin Flow-Liner for Small Collector Capacitance in InP HBT

著者

和文:	Y. Miyamoto, M. Ishida, T. Nonaka, T. Yamamoto, K. Furuya.
英文:	Y. Miyamoto, M. Ishida, T. Nonaka, T. Yamamoto, K. Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Conference on Indium Phosphide and Related

巻, 号, ページ

pp. TuA-1-4

出版年月

2005年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Indium Phosphide and Related

開催地

和文:
英文:	Glasgow

DOI