Development of gas jet Z-pinch EUV light source for lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of gas jet Z-pinch EUV light source for lithography

著者

和文:	Inho Song, Kazuhiro Iwata, Yusuke Homma, Smruti R. Mohanty, Masato Watanabe, Toru Kawamura, Koichi Yasuoka, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	Inho Song, Kazuhiro Iwata, Yusuke Homma, Smruti R. Mohanty, Masato Watanabe, Toru Kawamura, Koichi Yasuoka, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	分光学会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. Web

出版年月

2005年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Spectra Asia

開催地

和文:
英文:	Tokyo