Bonding of Two Silicon Layers above a Gap to Fabricate a Fast Scanning Micromirror

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Bonding of Two Silicon Layers above a Gap to Fabricate a Fast Scanning Micromirror

著者

和文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Stefan Zappe, Uma Krishnamoorthy, Olav Solgaard.
英文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Stefan Zappe, Uma Krishnamoorthy, Olav Solgaard.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics Part2

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 1A/B pp. L50-L52

出版年月

2004年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: