Characteristics of Plasma CVD on Inner Surface of Micro Channel

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of Plasma CVD on Inner Surface of Micro Channel

著者

和文:	M. Kadowaki, A. Yamamoto, 森伸介, M. Suzuki.
英文:	M. Kadowaki, A. Yamamoto, S. Mori, M. Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC17)

巻, 号, ページ

pp. 563

出版年月

2005年8月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC17)

開催地

和文:
英文:	Toronto, Canada