Electron Collision Data for Polyatomic Molecules in Plasma Processing and Environmental Processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electron Collision Data for Polyatomic Molecules in Plasma Processing and Environmental Processes

著者

和文:	H. Tanaka, M. Kitajima, H. Cho.
英文:	H. Tanaka, M. Kitajima, H. Cho.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	AIP Conference Proceedings

巻, 号, ページ

Vol. 636 No. 1 pp. 233-240

出版年月

2002年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: