電流制御による極端紫外光源プラズマの高効率化

論文・著書情報

タイトル

和文:	電流制御による極端紫外光源プラズマの高効率化
英文:	Improvement of Discharge-Pumped-Plasma EUV Source Current Control

著者

和文:	菊地淳史, 高橋謙作, Masnavi Majid, 中島充夫, 渡辺正人, 河村徹, 志甫諒, 堀田栄喜, 堀岡一彦.
英文:	KIKUCHI Atsushi, TAKAHASHI Kensaku, MASNAVI Majid, NAKAJIMA Mitsuo, WATANABE Masato, KAWAMURA Toru, SHIHO Makoto, HOTTA Eiki, HORIOKA Kazuhiko.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	プラズマ・核融合学会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 02aB21P pp. 254

出版年月

2005年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	プラズマ・核融合学会第22回年会
英文:

開催地

和文:	Tokyo
英文: