Development of Capillary Z-pinch Discharge Light Source for EUV Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Capillary Z-pinch Discharge Light Source for EUV Lithography

著者

和文:	Y.Kobayashi, K.Iwata, Y.Homma, I.Song, M.Masnavi, K.Yasuoka, M.Watanabe, A.Okino, K.Horioka, E.Hotta.
英文:	Y.Kobayashi, K.Iwata, Y.Homma, I.Song, M.Masnavi, K.Yasuoka, M.Watanabe, A.Okino, K.Horioka, E.Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

pp. 437-438

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	日本