Deposition of High Density Amorphous Carbon Films by Sputtering in Electron-Beam-Excited Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of High Density Amorphous Carbon Films by Sputtering in Electron-Beam-Excited Plasma

著者

和文:	Mutsumi Iwasaki, 平田敦.
英文:	Mutsumi Iwasaki, Atsushi HIRATA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	New Diamond and Frontier Carbon Technology

巻, 号, ページ

Vol. 15 No. 3 pp. 139-149

出版年月

2005年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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