Surface Modification of Thin dielectric Materials by Compact Theta-Pinch Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Modification of Thin dielectric Materials by Compact Theta-Pinch Plasma

著者

和文:	N. Takeuchi, K.Yasuoka, S. Ishii.
英文:	N. Takeuchi, K.Yasuoka, S. Ishii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE International Conference on Plasma Science

巻, 号, ページ

pp. 150

出版年月

2005年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE International Conference on Plasma Science

開催地

和文:
英文: