Characterization of the interfacial reaction between sputter-deposited Ni film and Si substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of the interfacial reaction between sputter-deposited Ni film and Si substrate

著者

和文:	R. Zhou, C.C. Chen M. Hashimoto, J. Shi, Y. Nakamura.
英文:	R. Zhou, C.C. Chen M. Hashimoto, J. Shi, Y. Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics A

巻, 号, ページ

Vol. 80 pp. 179-182

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI