プラズマドーピングで形成したp<sup>+</sup>層の極浅化に伴う電気伝導特性の変化 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	プラズマドーピングで形成したp⁺層の極浅化に伴う電気伝導特性の変化
英文:

著者

和文:	深川洋太郎, 相庭一穂, 小林勇介, 田村秀貴, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, 水野文二, 筒井一生, 角嶋邦之, 岩井洋.
英文:	深川洋太郎, 相庭一穂, 小林勇介, 田村秀貴, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, 水野文二, 筒井一生, 角嶋邦之, 岩井洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第66回応用物理学会学術連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 723

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第66回応用物理学会学術連合講演会
英文:

開催地

和文:	徳島
英文:

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