シリコン表面近傍にプラズマドープしたボロン原子の化学結合状態

論文・著書情報

タイトル

和文:	シリコン表面近傍にプラズマドープしたボロン原子の化学結合状態
英文:

著者

和文:	松田徹, 野平博司, 池永英司, 相庭一穂, 深川洋太郎, 田村英貴, 岡下勝巳, 金成国, 佐々木雄一朗, 伊藤裕之, 角嶋邦之, 筒井一生, 水野文二, 岩井洋, 服部健雄.
英文:	松田徹, 野平博司, 池永英司, 相庭一穂, 深川洋太郎, 田村英貴, 岡下勝巳, 金成国, 佐々木雄一朗, 伊藤裕之, 角嶋邦之, 筒井一生, 水野文二, 岩井洋, 服部健雄.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第66回応用物理学会学術連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 723

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第66回応用物理学会学術連合講演会
英文:

開催地

和文:	徳島
英文: