Study of xenon capillary Z pinch extreme-ultraviolet light source for lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study of xenon capillary Z pinch extreme-ultraviolet light source for lithography

著者

和文:	Keita Kitade, Inho Song, Mitsuo Okamoto, Yasushi Hayashi, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Riki Hotta.
英文:	Keita Kitade, Inho Song, Mitsuo Okamoto, Yasushi Hayashi, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Riki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Research Report NIFS-PROC Series

巻, 号, ページ

Vol. NIFS-PROC-62 pp. 16-23

出版年月

2006年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Physics and Application of High Energy density Plasmas Produced by Pulsed Power

開催地

和文:
英文:	Toki, Gifu