Development of Capillary Z-pinch Discharge Light Source

論文・著書情報

タイトル

和文:	EUVリソグラフィ用キャピラリＺピンチ放電生成プラズマ光源の開発
英文:	Development of Capillary Z-pinch Discharge Light Source

著者

和文:	小林靖典, 岩田和宏, 本間友祐, 宋仁皓, Majid Masnavi, 安岡康一, 渡辺正人, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Y.Kobayashi, K.Iwata, Y.Homma, I.Song, M.Masnavi, K.Yasuoka, M.Watanabe, A.Okino, K.Horioka, E.Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

Vol. P2-112 pp. 437-438

出版年月

2005年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Plasma Science Symp. 2005/The 22nd Symp. on Plasma Processing

開催地

和文:
英文:	Nagoya