Structural Defects and Electrical Cunductivity in Nanocrystalline SiC:H Films Doped with Boron and  Grown by Photostimulated Chemical-Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structural Defects and Electrical Cunductivity in Nanocrystalline SiC:H Films Doped with Boron and Grown by Photostimulated Chemical-Vapor Deposition

著者

和文:	O. I. Shevaleevskiy, S.Y. Myong, K.S. Lim, 宮島晋介, M. Konagai.
英文:	O. I. Shevaleevskiy, S.Y. Myong, K.S. Lim, S. Miyajima, M. Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Semiconductors

巻, 号, ページ

Vol. 39 No. 2005 pp. 741-743

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: