Pulsed Operated Multi-Gas Inductively Coupled Plasma Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pulsed Operated Multi-Gas Inductively Coupled Plasma Source

著者

和文:	Akitoshi Okino, Hidekazu Miyahara, Kazuyasu Takimoto, Taichi Kageyasu, Masato Watanabe, Eiki Hotta.
英文:	Akitoshi Okino, Hidekazu Miyahara, Kazuyasu Takimoto, Taichi Kageyasu, Masato Watanabe, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Conference Record

巻, 号, ページ

No. 1P29 pp. 153

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 IEEE International Conference on Plasma Science

開催地

和文:
英文:	Traverse City, Michigan, USA