Characterization of Gas Jet Z-Pinch Plasma Light SOurce for Extreme Ultraviolet Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Gas Jet Z-Pinch Plasma Light SOurce for Extreme Ultraviolet Lithography

著者

和文:	Masato Watanabe, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi, Naoya Iizuka, Nozomu Kishi, Akitoshi Okino, Smruti R. Mohanty, Eiki Hotta.
英文:	Masato Watanabe, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi, Naoya Iizuka, Nozomu Kishi, Akitoshi Okino, Smruti R. Mohanty, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Conference Record

巻, 号, ページ

No. 3P29 pp. 313

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 IEEE International Conference on Plasma Science

開催地

和文:
英文:	Traverse City, Michigan, USA