A Novel Linear Motor Driven Aerostatic Planar Positioning Table System for Nano-Machining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Novel Linear Motor Driven Aerostatic Planar Positioning Table System for Nano-Machining

著者

和文:	吉岡勇人, K.Taniguchi, 新野秀憲.
英文:	H.Yoshioka, K.Taniguchi, H.Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 6th International conference european society for precision engineering and nanotechnology

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 305-308

出版年月

2006年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 6th International conference european society for precision engineering and nanotechnology(euspen)

開催地

和文:
英文:	Baden bei Wien, Vienna