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論文・著書情報


タイトル
和文:超音波振動を用いた非接触ナノ位置決めテーブルシステム 
英文:Nano Positioning Table System of Noncontact Type Using Ultrasonic Vibration 
著者
和文: 吉岡勇人, 新野秀憲.  
英文: Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:超音波TECHNO 
英文:Ultrasonic Technology 
巻, 号, ページ Vol. 18    No. 3    pp. 48-51
出版年月 2006年5月 
出版者
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会議名称
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開催地
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