Currrent Control of Discharge-Pumped-Plasma EUV Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Currrent Control of Discharge-Pumped-Plasma EUV Source

著者

和文:	Atsushi Kikuchi, Kensaku Takahashi, Majid Masnavi, Mitsuo Nakajima, Tohru Kawamura, Makoto Shiho, Eiki Hotta, Kazuhiko Horioka.
英文:	Atsushi Kikuchi, Kensaku Takahashi, Majid Masnavi, Mitsuo Nakajima, Tohru Kawamura, Makoto Shiho, Eiki Hotta, Kazuhiko Horioka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Research Report NIFS-PROC Series

巻, 号, ページ

Vol. NBIFS-PROC-64 pp. 1-5

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Frontiers of Pulse Power and Particle Beam Technology

開催地

和文:
英文:	Toki, Gifu, Japan