ナノメートル平面運動テーブルの開発とその性能評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノメートル平面運動テーブルの開発とその性能評価
英文:	Development and Performance Evaluation of Nanometer Planar Positioning Table System

著者

和文:	吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会RC216多軸制御工作機械とその利用技術に関する研究分科会研究報告書
英文:	JSME RC216 Research Committee on Multiple Axix Controlled Machine Tools and Their Application Technology

巻, 号, ページ

pp. 71-74

出版年月

2006年8月

出版者

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会議名称

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開催地

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