Optimization of a gas jet-type Z-pinch discharge EUV light source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Optimization of a gas jet-type Z-pinch discharge EUV light source

著者

和文:	Naoya Iizuka, Nozomu Kishi, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi, Smrti R. Mohanty, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Eiki Hotta.
英文:	Naoya Iizuka, Nozomu Kishi, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi, Smrti R. Mohanty, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Vacuum Society of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 630-633

出版年月

2006年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	22nd International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum

開催地

和文:
英文:	Matsue, Shimane

DOI