リニアモータ駆動超音波浮上テーブルシステムの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	リニアモータ駆動超音波浮上テーブルシステムの開発
英文:	Development of Ultrasonic Levitation Table System Driven by Linear Motor

著者

和文:	後閑利通, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	T.Gokan, H.Yoshioka, H.Shinno.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会第６回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集
英文:	Japan Society of Mechanical engineers

巻, 号, ページ

Vol. 06 No. 34 pp. 151-152

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会第６回生産加工・工作機械部門講演会
英文:

開催地

和文:	生産性国際交流センター
英文: