Thermal Analysis of Silicon Films with Ultrashort-Pulse Laser Irradiation

論文・著書情報

タイトル

和文:	極短パルスレーザー光照射を受けるシリコン薄膜の伝熱解析
英文:	Thermal Analysis of Silicon Films with Ultrashort-Pulse Laser Irradiation

著者

和文:	伏信一慶, 黒崎晏夫, C.L. Tien.
英文:	伏信一慶, 黒崎晏夫, C.L. Tien.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集
英文:	Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers

巻, 号, ページ

Vol. 63 No. 609 pp. 1741-1746

出版年月

1997年

出版者

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会議名称

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開催地

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