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論文・著書情報
タイトル
和文:
アーク放電プラズマジェットCVD法によるダイヤモンド合成に及ぼす雰囲気圧力の影響
英文:
Effects of Process Pressure on Diamond Preparation by Arc Discharge Plasma Jet CVD
著者
和文:
平田 敦
, 内田孝宏, 吉川昌範.
英文:
平田 敦
, 内田孝宏, 吉川昌範.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
精密工学会誌
英文:
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
巻, 号, ページ
Vol. 60 No. 10 pp. 1480-1484
出版年月
1994年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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