Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd3Ga5O12

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low temperature wafer direct bonding between GaInAsP etch stop layer and Gd₃Ga₅O₁₂

著者

和文:	Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto.
英文:	Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Technical Digest on Conference on Lasers and Electro-Optics Europe

巻, 号, ページ

pp. 336

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: