Analysis of GaInAsP surfaces by contact-angle measurement for wafer direct bonding with garnet crystals

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analysis of GaInAsP surfaces by contact-angle measurement for wafer direct bonding with garnet crystals

著者

和文:	Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto, Masafumi Shimizu, Takashi Waniishi, Naoki Futakuchi, Noriaki Kaida, Yoshiaki Nakano.
英文:	Hideki Yokoi, Tetsuya Mizumoto, Masafumi Shimizu, Takashi Waniishi, Naoki Futakuchi, Noriaki Kaida, Yoshiaki Nakano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 38 No. 8 pp. 4780-4783

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: