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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Control of Plasma Parameters and Electric Fields in a Microwave-RF Hybrid Plasma 
著者
和文: H.Fujita, 奥野 喜裕, S.Yagura.  
英文: H.Fujita, Y.Okuno, S.Yagura.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 67    No. 10    pp. 6114-6117
出版年月 1990年5月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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